Keller ITS Pyrometer JP

シーメンス法

純シリコンを分離するシーメンス法のプロセス温度は、高温計で測定することができます。

 

インダストリアルソリューションガイド - 結晶成長 - シーメンスプロセス

あなたの利点:
  • 光ファイバーが電子機器と測定ヘッドを分離
  • 高分解能光学系により、プロセス開始時の細いシリコン棒の温度測定が可能

リセット
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